マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制非該当品)

型式

CL-S015N

CL-S015EXN

CL-V020N

CL-V050N

CL-PT010N

画像

種類

光学ユニット

ヘッド

CL-S015 *1

CL-S015EX *1

CL-V020 *1

CL-V050 *1

CL-PT010 *1

基準距離

15 mm

20 mm

50 mm

10 mm

標準測定範囲

測定範囲

± 1.0 mm

± 1.3 mm

± 4 mm

± 0.3 mm

直線性

± 0.35 μm *2

± 0.45 μm *2

± 1.4 μm *2

± 0.22 µm *2

高精度測定範囲

測定範囲

− 0.2 mm/−1.0 mm

± 0.5 mm

± 1.6 mm

± 0.15 mm

直線性

± 0.25 μm *2

± 0.38 μm *2

± 1.3 μm *2

± 0.2 µm *2

分解能

0.25 μm *3

スポット径

ø 10 μm

ø 20 μm

ø 40 μm

ø 3.5 µm

レーザークラス

光学ユニット

Class 1

サンプリング周期

100/200/500/1000 µs(4 段階可変)

耐環境性

保護構造

ヘッド

IP50

IP40 真空用脱気構造 *5

IP64(IEC60529)

使用周囲照度

物体面照度　30000 lx(白熱灯)

使用周囲温度

ヘッド

− 20 ～ 70℃

− 20 〜200℃

0 ～ 50℃

光学ユニット

0 ～ 50℃

使用周囲湿度

85％ RH 以下（結露なきこと）

耐振動

ヘッド

10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間

10 ～ 57 Hz　複振幅0.45 mm　X、Y、Z 各方向2 時間

光学ユニット

10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間

耐衝撃

15G 6 ms

真空

真空対応

超高真空対応 *6

なし

防爆

性能

ヘッド

なし

IECEｘ: Ex op is IIC T6 Ga
ATEX: II 1 G Ex op is IIC T6 Ga
NRTL/ACO: Class I, Zone 0, AEx op is IIC T6 Ga Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6

なし

光学ユニット

IECEｘ: [Ex op is ⅡC T6 Ga]
ATEX: II (1) G [Ex op is ⅡC T6 Ga]
NRTL/ACO: Class I, Zone 0, [AEx op is ⅡC T6 Ga] Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6

Zone/Division

ヘッド

IECEｘ: Zone0
ATEX: Zone0
NRTL/ACO: Zone0/Division1

光学ユニット

危険場所に設置しないでください（防爆関連機器）

周囲温度

ヘッド

− 20℃ ≤ Ta ≤ 70℃

光学ユニット

0℃ ≤ Ta ≤ 50℃

認証番号

IECEｘ: IECEx CSAE 23.0033X
ATEX: CSANe 23ATEX1133X
NRTL/ACO: 23CA80171819X

温度特性

ヘッド

0.005% of F.S. /℃ *4

0.013% of F.S. /℃ *4

0.015% of F.S. /℃ *4

0.1% of F.S. /℃ *4

光学ユニット

0.015% of F.S. /℃

材質

ヘッド

SUS303/304

SUS304

前部：SUS　後部：アルミ

光学ユニット

ポリカーボネート

質量

ヘッド

約350 ｇ

約100 ｇ

約1100 g

光学ユニット

約1600 g

*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。
*3 当社基準ワーク（鏡面体）を平均回数 16384 回平均で測定した値。
*4 ヘッドと対象物の間をSUS303（またはSUS304）製の治具で固定した場合の数字です。
*5 付属のシールを貼ると、IP50 相当になります。
*6 10^-6Pa 環境下で動作検証済み。