超高速・高精度レーザ変位計
LK-G5000 シリーズ
※表中の型式名をクリックすると、仕様が掲載されたPDFをダウンロードできます。
粗面測定タイプ（ワイドタイプ）
| レーザクラス2 | レーザクラス3R | レーザクラス3B | 基準距離＋測定範囲 | 繰り返し精度 | スポット径 |
|---|---|---|---|---|---|
| LK-H027 | LK-H025 | LK-H028 |  |
0.02μm | 25μm×1400μm |
| LK-H057 | LK-H055 | LK-H058 |  |
0.025μm | 50μm×2000μm |
| LK-H087 | LK-H085 | ― |  |
0.1μm | 70μm×2500μm |
| LK-H157 | LK-H155 | ― |  |
0.25μm | 120μm×4200μm |
| 基準距離 150mm以上のレンジに関してはお問い合わせください。 |
微細測定タイプ（スポットタイプ）
| レーザクラス2 | レーザクラス3R | レーザクラス3B | 基準距離＋測定範囲 | 繰り返し精度 | スポット径 |
|---|---|---|---|---|---|
| LK-H022 | LK-H020 | LK-H023 |  |
0.02μm | φ25μm |
| LK-H052 | LK-H050 | LK-H053 |  |
0.025μm | φ50μm |
| LK-H082 | LK-H080 | ― |  |
0.1μm | φ70μm |
| LK-H152 | LK-H150 | ― |  |
0.25μm | φ120μm |
| 基準距離 150mm以上のレンジに関してはお問い合わせください。 |
透明・鏡面測定タイプ（ミラータイプ）
| スポット形状 | レーザクラス1 | レーザクラス2 | レーザクラス3R | 基準距離＋測定範囲 | 繰り返し 精度 |
スポット径 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ワイド | LK-H008W | ― | ― |  |
0.005μm | 20μm×550μm |
| スポット | LK-H008 | ― | ― | φ20μm | ||
| ワイド | ― | LK-H027K | ― |  |
0.02μm | 25μm×1400μm |
| スポット | ― | LK-H022K | ― | φ25μm | ||
| ワイド | ― | LK-H057K | ― |  |
0.025μm | 50μm×2000μm |
| スポット | ― | LK-H052K | ― | φ50μm | ||
| ワイド | ― | ― | LK-H085 +LK-F3 |
 |
0.1μm | 70μm×2500μm |
| スポット | ― | LK-H082 +LK-F3 |
LK-H080 +LK-F3 |
0.1μm | φ70μm | |
| ワイド | ― | ― | LK-H155 +LK-F2 |
 |
0.25μm | 120μm×4200μm |
| スポット | ― | LK-H152 +LK-F2 |
LK-H150 +LK-F2 |
0.25μm | φ120μm |
| 基準距離 150mm以上のレンジに関してはお問い合わせください。 |
