超高精度を実現したテクノロジー
分光干渉方式の原理
分光ユニット
SLD(=Super Luminescent Diode)から出た広波長帯域の赤外光は、
偏波保持ファイバを通り、センサヘッドを抜けてウェハ表面に照射されます。
そこで光の一部が反射し、残りの一部はウェハを透過して裏面で反射します。
2つの反射光は波長ごとに互いに干渉して、分光ユニットに戻ってきます。
干渉光の大きさは、参照面から対象物までの距離によって定まり、
ちょうど波長の整数倍のときに極大値を取ります。
干渉光は分光器によって波長ごとに細かく分光され、
CCDの受光波形から、光強度スペクトル分布が得られます。
それにFFT処理などの波形解析を行なうことで、ウェハ厚みを算出します。