分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ

システム構成図

構成機器一覧

ヘッド部

多層変位測定タイプ
SI-T10

長距離厚み測定タイプ
SI-T80

分光ユニット
SI-T10U/SI-T80U

コントローラ部

コントローラ
(表示付きタイプ)
SI-T1000V

コントローラ
(表示分離タイプ)
SI-T1000

増設コントローラ
SI-TA100

分光ユニット・
コントローラ連結治具
OP-84474

ソフトウエア

専用PC ソフト
“SI-Navigator T”
SI-H1T

表示部

表示パネル
SI-TD500

ケーブル部

接続ケーブル
CB-A07/CB-A2/CB-A5/
CB-A10/CB-A20/CB-A30

延長ケーブル
CB-A5E/CB-A10E
表示-コントローラ間
ケーブル
0.33m:OP-84427
3m:OP-51655
10m:OP-51656
USB ケーブル
2m:OP-66844

オプション品

センサヘッド取付スタンド
OP-51543