超高精細インラインプロファイル測定器
LJ-X8000 シリーズ

センサヘッド

型式

LJ-X8020

LJ-X8030

LJ-X8060

LJ-X8070

LJ-X8080

画像

基準距離

20 mm

28 mm

64 mm

50 mm

73 mm

測定範囲

Z 軸（高さ）

±2.2 mm(F.S.=4.4 mm)

±6.5 mm(F.S.=13 mm)

±7.3 mm(F.S.=14.6 mm)

±8 mm(F.S.=16 mm)

±20.5 mm(F.S.=41 mm)

X 軸（幅）

NEAR側

7 mm

16 mm

15 mm

33.5 mm

30 mm

基準距離

7.5 mm

16 mm

35 mm

FAR側

8 mm

36.5 mm

39 mm

光源

青色半導体レーザ

光源

波長

405 nm(可視光)

レーザクラス

クラス2Mレーザ製品 (IEC60825-1、FDA(CDRH) Part 1040.10*1)*2

クラス3Rレーザ製品 (IEC60825-1、FDA(CDRH) Part 1040.10*1)

クラス2Mレーザ製品 (IEC60825-1、FDA(CDRH) Part 1040.10*1)*2

出力

10 mW

50 mW

10 mW

スポット形状

約16 mm×32 µm(基準距離)

約20 mm×48 µm(基準距離)

約25 mm×49 µm(基準距離)

約44 mm×65 µm(基準距離)

約44 mm×72 µm(基準距離)

繰り返し精度

Z 軸（高さ）

0.3 µm*3*4

0.4 µm*3*4

0.3 µm*3*4

0.5 µm*3*4

X 軸（幅）

0.3 µm*3*5

0.5 µm*3*5

1 µm*3*5

1.0 µm*3*5

直線性

Z軸（高さ）

±0.05% of F.S.(±0.012%)*6

±0.013% of F.S.(±0.004%)*6

±0.04% of F.S.(±0.008%)*6

±0.025% of F.S.(±0.005%)*6

±0.03% of F.S.(±0.004%)*6

プロファイルデータ間隔

X 軸（幅）

2.5 µm(2 µm～)*7

5 µm(3 µm～)*7

5 µm(4 µm～)*7

12.5 µm(10 µm～)*7

プロファイルデータ数

3200 点

HDR（ハイダイナミックレンジ）

シングルショットHDR*8

レーザ照射位置確認機能

光源

青色LED (405 nm)

温度特性

0.01％of F.S./℃

耐環境性

保護構造

IP67(IEC60529)*9

使用周囲照度

白熱ランプ： 10000 lx 以下*10

使用周囲温度

0〜+45℃*11

使用周囲湿度

85%RH 以下（結露なきこと）

耐振動

10〜57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向3 時間

耐衝撃

15 G / 6 msec

材質

アルミ

質量

約1000 g

約1300 g

約1000 g

約1300 g

約1100 g

*1 FDA(CDRH)のLaser Noticeに従い、IEC60825-1の基準にてクラス分けを実施しています。
*2 光学器具(たとえば、ルーペ、拡大鏡、顕微鏡、望遠鏡、双眼鏡など)を用いて直接ビームを見ないでください。光学器具を用いてレーザ出力を観察すると、目に危険を及ぼす場合があります。
*3 基準距離にて平均回数4096 回で測定した場合の値。
*4 測定対象物は弊社標準対象物。 高さ・位置ツールにて初期設定エリアの平均高さを測定した場合の値。他は初期設定。
*5 測定対象物はピンゲージ。高さ・位置ツールにてピンゲージR 面とエッジレベルとの交点位置を測定した場合の値。他は初期設定。
*6 測定対象物は弊社標準対象物。 スムージング64 回、アベレージング8 回にて測定した場合のプロファイルデータ。他は初期設定。(　)内は全プロファイルデータ平均の代表例。
*7 プロファイルデータ間隔は変更できます。変更するとX 方向の測定範囲も変動します。
*8 1 回の撮像(露光)で、黒色(反射率小)～光沢面(反射率大)までを安定して高精度で測定できる特性です。
*9 ヘッドケーブル(CB-B*)または延長ケーブル(CB-B*E)を接続した場合。CB-B05L*接続時は除く。
*10 白紙測定時、白紙に光を当てたときのセンサヘッド受光面での照度。
*11 ヘッドは、金属プレートに取り付けて使用する必要があります。