超高精細インラインプロファイル測定器
LJ-X8000 シリーズ

型式

LJ-X8020

LJ-X8060

LJ-X8080

LJ-X8200

LJ-X8300

LJ-X8400

LJ-X8900

画像

基準距離

20 mm

64 mm

73 mm

245 mm

288 mm

380 mm

980 mm

測定範囲

Z 軸（高さ）

±2.2 mm(F.S.=4.4 mm)

±7.3 mm(F.S.=14.6 mm)

±20.5 mm(F.S.=41 mm)

±34 mm(F.S.=68 mm)

±53 mm(F.S.=106 mm)

±60 mm(+95～-220 mm^*12)(F.S.=315 mm)

±400 mm(F.S.=800 mm)

X 軸（幅）

NEAR側

7 mm

15 mm

30 mm

64 mm

134 mm

180 mm(163 mm^*12)

300 mm

基準距離

7.5 mm

16 mm

35 mm

72 mm

150 mm

210 mm

510 mm

FAR側

8 mm

39 mm

80 mm

160 mm

240 mm(320 mm^*12)

720 mm

光源

青色半導体レーザ

光源

波長

405 nm(可視光)

レーザクラス

クラス2Mレーザ製品 (IEC60825-1、FDA(CDRH) Part 1040.10^*1)^*2

出力

10 mW

スポット形状

約16 mm×32 µm(基準距離)

約25 mm×49 µm(基準距離)

約44 mm×72 µm(基準距離)

約115 mm×116 µm(基準距離)

約215 mm×108 µm(基準距離)

約275 mm×249 µm(基準距離)

約622 mm×566 µm(基準距離)

繰り返し精度

Z 軸（高さ）

0.3 µm^*3*4

0.4 µm^*3*4

0.5 µm^*3*4

1 µm^*3*4

3 µm^*3*4

5 µm^*3*4

10 µm^*3*4

X 軸（幅）

0.3 µm^*3*5

0.5 µm^*3*5

1.0 µm^*3*5

3 µm^*3*5

5 µm^*3*5

10 µm^*3*5

25 µm^*3*5

直線性

Z軸（高さ）

±0.05% of F.S.(±0.012%)^*6

±0.04% of F.S.(±0.008%)^*6

±0.03% of F.S.(±0.004%)^*6

±0.04% of F.S.(±0.006%)^*6

±0.033% of F.S.(±0.005%)^*6

基準距離±60 mm：±0.025% of F.S.(±0.003%)
全領域：±0.035% of F.S.(±0.005%)^*6

Near～基準距離：±0.015% of F.S.(±0.004%)
全領域：±0.05% of F.S.(±0.006%)^*6

プロファイルデータ間隔

X 軸（幅）

2.5 µm(2 µm～)^*7

5 µm(4 µm～)^*7

12.5 µm(10 µm～)^*7

25 µm(20 µm～)^*7

50 µm(40 µm～)^*7

75 µm(50 µm～)
100 µm(50 µm～)^*12*7

225 µm(100 µm～)^*7

プロファイルデータ数

3200 点

HDR（ハイダイナミックレンジ）

シングルショットHDR^*8

レーザ照射位置確認機能

光源

青色LED (405 nm)

温度特性

0.01％of F.S./℃

耐環境性

保護構造

IP67(IEC60529)^*9

使用周囲照度

白熱ランプ： 10000 lx 以下^*10

使用周囲温度

0〜+45℃^*11

使用周囲湿度

85%RH 以下（結露なきこと）

耐振動

10〜57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向3 時間

耐衝撃

15 G / 6 msec

材質

アルミ

質量

約1000 g

約1100 g

約1200 g

約1400 g

約1300 g

約1600 g