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超高速インラインプロファイル測定器
LJ-V7000 シリーズ
センサヘッド LJ-V7020K

仕様

型式

LJ-V7020K*1

設置状態

正反射

基準距離

24.2mm

測定範囲

Z軸(高さ)

±2.3mm (F.S.=4.6mm)

X軸(幅)

NEAR側

6.5mm

基準距離

7mm

FAR側

7.5mm

光源

種類

青色半導体レーザ

波長

405nm (可視光)

レーザクラス

クラス2Mレーザ製品*2
(IEC60825-1、FDA (CDRH) Part 1040.10*3)

出力

10mW

スポット形状(基準距離)

約14mm×35µm

繰り返し精度

Z軸(高さ)

0.2µm*4*5

X軸(幅)

2.5µm*4*6

直線性

Z軸(高さ)

±0.1% of F.S.*7

プロファイルデータ間隔

X軸(幅)

10µm

サンプリング周期(トリガ間隔)

最速16µs (高速モード)、最速32µs (高機能モード)*8

温度特性

0.01% of F.S./℃

耐環境性

保護構造

IP67 (IEC60529)*9

使用周囲照度

白熱ランプ:10,000 lux 以下*10

使用周囲温度

0 ~ +45 ℃*11

使用周囲湿度

20 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 57 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 3 時間

耐衝撃

15 G/6 ms

材質

アルミ

質量

約 410 g

*1 W偏光機能は使用できません。
*2 光学器具(例えば、ルーペ、拡大鏡、顕微鏡、望遠鏡、双眼鏡など)を用いて直接ビームを見ないでください。光学機器を用いてレーザ出力を観察すると、目に危険を及ぼす場合があります。
*3 FDA(CDRH) のLaser Notice No.50 に従い、IEC60825-1 の基準にてクラス分けを実施しています。
*4 基準距離にて平均回数4096回で測定した場合の値。
*5 測定対象物は弊社標準対象物。高さモードにて初期設定エリアの平均高さを測定した場合の値。他は初期設定。
*6 測定対象物はピンゲージ。位置モードにてピンゲージR面とエッジレベルとの交点位置を測定した場合の値。他は初期設定。
*7 測定対象物は弊社標準対象物。スムージング64回、アベレージング8回にて測定した場合のプロファイルデータ。他は初期設定。
*8 高速モードの場合は、測定範囲が最小、ビニングON、撮像モードが標準、並列撮像がONの時。他は初期設定。高機能モードの場合は、測定範囲が最小、ビニングON、撮像モードが標準の時。他は初期設定。
*9 ヘッドケーブル (CB-B*) または延長ケーブル (CB-B*E) を接続した場合の値。
*10 白紙測定時、白紙に光を当てたときのセンサーヘッド受光面での照度。
*11 ヘッドは、金属プレートに取り付けて使用する必要があります。