超高速インラインプロファイル測定器
LJ-V7000 シリーズ
ヘッド
型式 |
LJ-V7020K*1 |
LJ-V7020*1 |
LJ-V7060K |
LJ-V7060 |
LJ-V7080 |
LJ-V7200 |
LJ-V7300 |
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画像 |
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設置状態 |
正反射 |
拡散反射 |
正反射 |
拡散反射 |
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基準距離 |
24.2mm |
20mm |
54.6mm |
60mm |
80mm |
200mm |
300mm |
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測定範囲 |
Z軸(高さ) |
±2.3mm (F.S.=4.6mm) |
±2.6mm (F.S.=5.2mm) |
±7.6mm (F.S.=15.2mm) |
±8mm (F.S.=16mm) |
±23mm (F.S.=46mm) |
±48mm (F.S.=96mm) |
±145mm (F.S.=290mm) |
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X軸(幅) |
NEAR側 |
6.5mm |
8mm |
13.5mm |
25mm |
51mm |
110mm |
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基準距離 |
7mm |
14mm |
15mm |
32mm |
62mm |
180mm |
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FAR側 |
7.5mm |
8mm |
39mm |
73mm |
240mm |
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光源 |
種類 |
青色半導体レーザ |
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波長 |
405nm (可視光) |
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レーザクラス |
クラス2Mレーザ製品*2 |
クラス2レーザ製品 |
クラス2Mレーザ製品*2 |
クラス2レーザ製品 |
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出力 |
10mW |
4.8mW |
10mW |
4.8mW |
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スポット形状(基準距離) |
約14mm×35µm |
約21mm×45µm |
約48mm×48µm |
約90mm×85µm |
約240mm×610µm |
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繰り返し精度 |
Z軸(高さ) |
0.2µm*4*5 |
0.4µm*4*5 |
0.5µm*4*5 |
1µm*4*5 |
5µm*4*5 |
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X軸(幅) |
2.5µm*4*6 |
5µm*4*6 |
10µm*4*6 |
20µm*4*6 |
60µm*4*6 |
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直線性 |
Z軸(高さ) |
±0.1% of F.S.*7 |
±0.05~±0.15% of F.S.*12*7 |
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プロファイルデータ間隔 |
X軸(幅) |
10µm |
20µm |
50µm |
100µm |
300µm |
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サンプリング周期(トリガ間隔) |
最速16µs (高速モード)、最速32µs (高機能モード)*8 |
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温度特性 |
0.01% of F.S./℃ |
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耐環境性 |
保護構造 |
IP67 (IEC60529)*9 |
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使用周囲照度 |
白熱ランプ:10,000 lux 以下*10 |
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使用周囲温度 |
0 ~ +45 ℃*11 |
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使用周囲湿度 |
85%RH 以下(結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ~ 57 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 3 時間 |
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耐衝撃 |
15 G/6 ms |
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材質 |
アルミ |
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質量 |
約 410 g |
約 450 g |
約 400 g |
約 550 g |
約 1,000 g |
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*1 W偏光機能は使用できません。 |