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超高精細インラインプロファイル測定器
LJ-X8000 シリーズ
センサヘッド LJ-X8400

仕様

型式

LJ-X8400

基準距離

380 mm

測定範囲

Z 軸(高さ)

±60 mm(+95~-220 mm*1)(F.S.=315 mm)

X 軸(幅)

NEAR側

180 mm(163 mm*1)

基準距離

210 mm

FAR側

240 mm(320 mm*1)

光源

青色半導体レーザ

光源

波長

405 nm(可視光)

レーザクラス

クラス2Mレーザ製品 (IEC60825-1、FDA(CDRH) Part 1040.10*2)*3

出力

10 mW

スポット形状

約275 mm×249 µm(基準距離)

繰り返し精度

Z 軸(高さ)

5 µm*4*5

X 軸(幅)

10 µm*4*6

直線性

Z軸(高さ)

基準距離±60 mm:±0.025% of F.S.(±0.003%)
全領域:±0.035% of F.S.(±0.005%)*7

プロファイルデータ間隔

X 軸(幅)

75 µm(50 µm~)
100 µm(50 µm~)*1*8*9

プロファイルデータ数

3200 点

HDR(ハイダイナミックレンジ)

シングルショットHDR*10

レーザ照射位置確認機能

光源

青色LED (405 nm)

温度特性

0.01%of F.S./℃

耐環境性

保護構造

IP67(IEC60529)*11

使用周囲照度

白熱ランプ: 10000 lx 以下*12

使用周囲温度

0〜+45℃*13

使用周囲湿度

20〜85%RH(結露なきこと)

耐振動

10〜57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向3 時間

耐衝撃

15 G / 6 msec

材質

アルミ

質量

約1300 g

*1 レンジ拡張時。
*2 FDA(CDRH)のLaser Notice No.56に従い、IEC60825-1の基準にてクラス分けを実施しています。
*3 光学器具(たとえば、ルーペ、拡大鏡、顕微鏡、望遠鏡、双眼鏡など)を用いて直接ビームを見ないでください。光学器具を用いてレーザ出力を観察すると、目に危険を及ぼす場合があります。
*4 基準距離にて平均回数4096 回で測定した場合の値。
*5 測定対象物は弊社標準対象物。 高さ・位置ツールにて初期設定エリアの平均高さを測定した場合の値。他は初期設定。
*6 測定対象物はピンゲージ。高さ・位置ツールにてピンゲージR 面とエッジレベルとの交点位置を測定した場合の値。他は初期設定。
*7 測定対象物は弊社標準対象物。 スムージング64 回、アベレージング8 回にて測定した場合のプロファイルデータ。他は初期設定。( )内は全プロファイルデータ平均の代表例。
*8 プロファイルデータ間隔は変更できます。変更するとX 方向の測定範囲も変動します。
*9 LJ-X8000Aに接続時は( )の値は使用できません。
*10 1 回の撮像(露光)で、黒色(反射率小)~光沢面(反射率大)までを安定して高精度で測定できる特性です。
*11 ヘッドケーブル(CB-B*)または延長ケーブル(CB-B*E)を接続した場合。CB-B05L*接続時は除く。
*12 白紙測定時、白紙に光を当てたときのセンサヘッド受光面での照度。
*13 ヘッドは、金属プレートに取り付けて使用する必要があります。