小型・超高精度センサヘッド小スポット LK-G10

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仕様

型式		LK-G10
基準距離		10 mm
測定範囲		±1 mm^*1
光源	種類	赤色半導体レーザ
	波長	655 nm (可視光)、クラス1 レーザ製品 (JIS C6802)
	出力	最大 0.3 mW
スポット径 (基準距離にて)		約 ø20 µm
直線性		±0.03 % of F.S. (F.S.=±1 mm)^*2
繰り返し精度		0.02 µm (0.01 µm)^*3
サンプリング周期		20・50・100・200・500・1,000 µs (6 段階可変)
LED表示		測定中心付近：緑点灯、測定範囲内：橙点灯、測定範囲外：橙点滅
温度特性		0.01 % of F.S./℃ (F.S.=±1 mm)
耐環境性	保護構造	IP67 (IEC60529)
	使用周囲照度	白熱ランプ/蛍光灯：10,000 lux 以下
	使用周囲温度	0 ～ +50 ℃
	使用周囲湿度	35 ～ 85 % RH (結露しないこと)
	耐振動	10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間
質量		約 190 g (コード含む)
^1 サンプリング周期 20 µs 時の測定範囲：+0.37 mm (FAR 側) ～ -1 mm (NEAR 側) ^2 弊社標準対象物 (セラミック) を標準モードにて測定した場合の値。 ^*3 弊社標準対象物 (SUS) を基準距離にて平均回数 4,096 回で測定した場合の値。 () 内は平均回数 16,384 回で測定した場合の代表例。