超高速・高精度レーザ変位計
LK-G5000 シリーズ

ヘッド 拡散反射/正反射モード

型式

LK-H080

LK-H150

LK-H085

LK-H155

LK-H082

LK-H087

LK-H152

LK-H157

画像

設置モード

拡散反射

拡散反射/正反射*6

基準距離

80mm

150mm

80mm

150mm

拡散反射:80mm
正反射:76.7mm

拡散反射:150mm
正反射:147.5mm

測定範囲

±18mm*1

±40mm*1

±18mm*1

±40mm*1

拡散反射:±18mm
正反射:-17.6mm~+14.5mm*1

拡散反射:±40mm
正反射:-39.5mm~+24.4mm*1

光源

種類

赤色半導体レーザ

波長

655nm

レーザクラス (JIS C6802)

クラス3Rレーザ製品*2

クラス2レーザ製品*2

出力

4.8mW

0.95mW

スポット径 (基準距離にて)

ø70µm

ø120µm

70µm×2500µm

120µm×4200µm

ø70µm

70µm×2500µm

ø120µm

120µm×4200µm

直線性

±0.02% ofF.S. (F.S.=36mm)*3

±0.02% ofF.S. (F.S.=80mm)*3

±0.02% ofF.S. (F.S.=36mm)*3

±0.02% ofF.S. (F.S.=80mm)*3

±0.02% ofF.S. (F.S.=36mm)*3

±0.02% ofF.S. (F.S.=80mm)*3

繰り返し精度

0.1 µm*4

0.25 µm*4

0.1 µm*4

0.25 µm*4

0.1 µm*4

0.25 µm*4

サンプリング周期

2.55/5/10/20/50/100/200/500/1000µs (9段階可変)

温度特性

0.01% ofF.S./℃ (F.S.=36mm)

0.01% ofF.S./℃ (F.S.=80 mm)

0.01% ofF.S./℃ (F.S.=36mm)

0.01% ofF.S./℃ (F.S.=80 mm)

0.01% ofF.S./℃ (F.S.=36mm)

0.01% ofF.S./℃ (F.S.=80 mm)

耐環境性

保護構造

IP67

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯:10,000 lux 以下

白熱ランプ/蛍光灯:5,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ~ +50 ℃*5

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

アルミダイカスト

質量

約 280 g

約 300 g

約 280 g

約 300 g

約 280 g

約 300 g

*1 測定範囲はサンプリング周期が20µs以上の場合。
*2 クラス3Bタイプのセンサヘッドに関しては別途お問い合わせください。
*3 当社標準対象物(白色拡散物体/LK-H008/LK-H008Wのみ金属鏡面対象物)を標準モードにて測定した場合の値です。
*4 当社標準対象物 (白色拡散物体/LK-H008/LK-H008Wのみ金属鏡面対象物)を基準距離にて平均回数16384回で測定した場合の値です。
() 内は平均回数65536回、サンプリング周期200 µsで測定した場合の代表例です。
*5 使用周囲温度が 40 ℃ 以上の場合は金属プレートに取り付けて使用する必要があります。
*6 透明・鏡面測定時は右記の減光フィルタをご使用ください。 LK-H08□:LK-F3, LK-H15□:LK-F2