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マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
SI-F シリーズ
分光ユニット SI-F10U

仕様

型式

SI-F10U*1*2

種類

長距離タイプ 分光ユニット

センサヘッド

SI-F10

測定範囲

11.3 ~ 12.35mm*3

測定用光源

赤外SLD 中心波長820nm 最大0.6mW クラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø40µm*4

直線性

±0.3µm*5

分解能

0.01µm*6

サンプリング周期

200µs

ガイド用光源

赤色LD 650nm 最大0.1mW クラス1 (JIS C6802)

LED表示

測定中心付近:緑点灯 測定範囲内:橙点灯 測定範囲外:橙点滅

温度特性

0.01% of F.S./℃

耐環境性

使用周囲照度

白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下

使用周囲温度

0 ~ +35℃

使用周囲湿度

35 ~ 80%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55Hz 複振幅0.5mm X、Y、Z各方向2時間

材質

ポリカーボネート

質量

約1kg

*1 この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。
※なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。

*2 センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*3 センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、長距離タイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.2mmの個体差があります。
*4 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*5 測定対象はガラス表面で、平均回数256回に設定して測定した場合の値
*6 測定対象はガラス表面で、測定範囲中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値

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