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マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
SI-F シリーズ
分光ユニット SI-F80U

仕様

型式

SI-F80U*1

種類

厚み測定タイプ 分光ユニット

センサヘッド

SI-F80

測定範囲

0.05 ~ 1.1mm*2
(検出可能距離 80 ~ 81.1mm)

測定用光源

赤外SLD 中心波長820nm 最大0.6mW クラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø20µm*3

直線性

±0.2µm*4

分解能

0.001µm*5

サンプリング周期

200µs

ガイド用光源

赤色LD 650nm 最大0.1mW クラス1 (JIS C6802)

LED表示

測定中心付近:緑点灯 測定範囲内:橙点灯 測定範囲外:橙点滅

温度特性

0.01% of F.S./℃

耐環境性

使用周囲照度

白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下

使用周囲温度

0 ~ +35℃

使用周囲湿度

35 ~ 80%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55Hz 複振幅0.5mm X、Y、Z各方向2時間

材質

ポリカーボネート

質量

約1kg

*1 センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 厚み測定タイプはガラスとガラスの隙間厚みの測定範囲を表しています。検出可能距離の範囲内に測定対象面が入るようにしてください。
*3 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*4 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数256回に設定して測定した場合の値
*5 測定対象はt=0.3のガラス厚みで、検出可能距離内にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値

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