マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
SI-F シリーズ

仕様

型式

SI-F01*1

SI-F10*1

SI-F80*1

種類

マイクロヘッドタイプ センサヘッド

長距離タイプ センサヘッド

厚み測定タイプ センサヘッド

分光ユニット

SI-F01U

SI-F10U

SI-F80U

測定範囲

0.05 ~ 1.1mm*2

11.3 ~ 12.35mm*2

0.05 ~ 1.1mm*6
(検出可能距離 80 ~ 81.1mm)

測定用光源

赤外SLD 中心波長820nm 最大0.6mW クラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø20µm*3

ø40µm*3

ø20µm*3

直線性

±0.2µm*4

±0.3µm*4

±0.2µm*7

分解能

0.001µm*5

0.01µm*5

0.001µm*8

サンプリング周期

200µs

ガイド用光源

赤色LD 650nm 最大0.1mW クラス1 (JIS C6802)

LED表示

測定中心付近:緑点灯 測定範囲内:橙点灯 測定範囲外:橙点滅

温度特性

0.01% of F.S./℃

耐環境性

保護構造

IP67

IP64

使用周囲温度

0 ~ +85℃

0 ~ +40℃

0 ~ +50℃

使用周囲照度

白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55Hz 複振幅1.5mm X、Y、Z各方向2時間

材質

SUS

質量

約24g (コード含む)

約38g (コード含む)

約39g (コード含む)

■輸出規制_KJのみ

この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。
※なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。

*1 センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、長距離タイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.2mmの個体差があります。
*3 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*4 測定対象はガラス表面で、平均回数256回に設定して測定した場合の値
*5 測定対象はガラス表面で、測定範囲中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
*6 厚み測定タイプはガラスとガラスの隙間厚みの測定範囲を表しています。検出可能距離の範囲内に測定対象面が入るようにしてください。
*7 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数256回に設定して測定した場合の値
*8 測定対象はt=0.3のガラス厚みで、検出可能距離内にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値

型式

SI-F1000V

SI-FA100

分離型

SI-F1000/SI-FD500

種類

メインコントローラ 一体型

増設コントローラ*3

分光ユニット接続台数

2台

1台

表示

最小表示単位

0.001µm

なし

表示範囲

±999.999µm ~ ±9999.99mm (7段階選択可能)

表示周期

10回/秒

端子台

レーザリモートインターロック入力

無電圧入力*1

なし*1

タイミング1入力

リセット1入力

オートゼロ1入力

レーザオフ1/2入力

アナログ電圧出力

±10V×2出力 出力インピーダンス 100Ω*1

±10V×1出力 出力インピーダンス 100Ω*1

アナログ電流出力

4 ~ 20mA×2出力 最大負荷抵抗 350Ω*1

4 ~ 20mA×1出力 最大負荷抵抗 350Ω*1

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)*1

なし*1

総合判定出力

NPNオープンコレクタ出力*1

拡張コネクタ

タイミング2入力

無電圧入力*1

リセット2入力

オートゼロ2入力

プログラム切換入力

無電圧入力×3入力*1

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)

判定・バイナリ出力

バイナリ出力

測定値データ出力 (21bit)
OUT選択可 NPNオープンコレクタ出力*1

ストローブ出力

NPNオープンコレクタ出力*1

バイナリ選択出力

バイナリ選択入力

無電圧入力*1

RS-232Cインターフェース

測定データ出力および制御入出力
(ボーレート115200bit/sまで選択可)

なし

USBインターフェース

USB2.0 HI-SPEED対応
(USB1.1 Full-SPEED互換)

Ethernetインターフェース

100Base-TX/10Base-T

主な機能

12OUT同時測定機能、演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、計測機能、
測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、データストレージ機能、
光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、干渉計モード、マスク機能、
設定支援ソフト接続機能、ほか

定格

電源電圧

DC24V±10% リップル10% (P-P)以下

メインコントローラから供給

消費電流

ヘッド1台接続時 0.6A以下
ヘッド6台接続時 1.5A以下

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +50℃*2

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55Hz 複振幅 0.5mm X、Y、Z各方向2時間

質量

約600g

約300g

■輸出規制_KJのみ

本製品は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当しますので、
日本国外に持ち出す際には、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続をお取りください。
※なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。

*1 ・NPNオープンコレクタ出力定格 最大50mA(40V以下)、残留電圧0.5V以下
・無電圧入力定格 ON電圧1V以下、OFF電流0.6mA以下
・本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。 配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないように
してください。
*2 増設コントローラ数が2台以上の場合、使用周囲温度は0 ~ +40℃です。
*3 増設コントローラは、メインコントローラに最大4台まで接続できます。

型式

SI-H1

種類

SI-Navigator

ハードディスク空き容量

1GB以上

ディスプレイ

1024 x 768ピクセル、24bit フルカラー以上

CPU

Pentium III 1 GHz 以上 (推奨 1.7 GHz 以上)

メモリ容量

256MB以上(推奨1GB以上)

■輸出規制_KJのみ

この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。

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