【新商品情報】ダメージレスで、はっきりと鮮やかな印字を実現する、UV波長の3-Axisレーザマーカ「MD-Uシリーズ」誕生。

分光干渉式ウェハ厚み計
SI-F80R シリーズ

BG(バックグラインド)テープ付きでも、パターンがあっても、真のウェハの厚みがわかるウェハ厚み計

1ウェハの厚みが正確に測れる

ウェハの厚みが正確に測れる

Siをはじめ、GaAs、SIC、InP、a-Siなどの半導体を透過できる近赤外SLDを採用。
BG(バックグラインド)テープが付いたままでも、ウェハのみの厚みを正確に測定できます。

2パターンの影響を受けにくい

スポット径を小さくし、スポット内での表面段差を少なくすることで、ウェハ表面のパターンによるばらつき、測定アラームを最小限に抑え込むことができました。

パターン付き Si ウェハの厚みプロファイルデータ

パターンの影響を受けにくい

3試作ウェハの評価時間を短縮

専用ステージと組み合わせることで、簡単にウェハ全体の厚み分布をマッピングできます。

試作ウェハの評価時間を短縮

3D表示
ウェハの厚み分布を3D表示し、全体の傾向を把握できます

プロファイル計測
ウェハの指定した箇所の断面プロファイルを表示し、うねりのP-P計測や波形比較など細かな解析ができます

仕様・詳細をカタログで見る

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SI-F80Rシリーズ 分光干渉式ウェハ厚み計 (輸出規制品含む) カタログ

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