【新商品情報】あらゆるワーク・シーンに対応可能な超ワイドレンジモデルが登場!超高精細インラインプロファイル測定器「LJ-X8000シリーズ」

分光干渉式ウェハ厚み計
SI-F80R シリーズ

BG(バックグラインド)テープ付きでも、パターンがあっても、真のウェハの厚みがわかるウェハ厚み計

1ウェハの厚みが正確に測れる

ウェハの厚みが正確に測れる

Siをはじめ、GaAs、SIC、InP、a-Siなどの半導体を透過できる近赤外SLDを採用。
BG(バックグラインド)テープが付いたままでも、ウェハのみの厚みを正確に測定できます。

詳しくは、カタログ(PDF)をダウンロードしてご覧ください。

測定原理の詳細はこちら

2パターンの影響を受けにくい

スポット径を小さくし、スポット内での表面段差を少なくすることで、ウェハ表面のパターンによるばらつき、測定アラームを最小限に抑え込むことができました。

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パターン付き Si ウェハの厚みプロファイルデータ

パターンの影響を受けにくい

3厚みの面内分布を見える化可能

X/Yステージを組み合わせることで、簡単に面内の厚み分布を見える化できます。

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試作ウェハの評価時間を短縮

ウエハの厚み面内分布イメージ

プロファイル形状測定イメージ図

仕様・詳細をカタログで見る

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SI-F80Rシリーズ 分光干渉式ウェハ厚み計 (輸出規制品含む) カタログ

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