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分光干渉式ウェハ厚み計
SI-F80R シリーズ
分光ユニット SI-F80RU

仕様

型式

SI-F80RU*1

種類

ウェハ厚み測定タイプ 分光ユニット

センサヘッド

SI-F80R

測定範囲

10 ~ 310µm (n=3.5 のとき)*2

検出可能距離

80 ~ 81.1mm

測定用光源

赤外SLD 出力0.6mW レーザクラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø25µm*3

直線性

±0.1µm (n=3.5 のとき)*4

分解能

0.001µm*5

サンプリング周期

200µs

LED表示

測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅

温度特性

0.01% of F.S./℃

耐環境性

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯:10,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 80 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 0.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

ポリカーボネート

質量

約 1.2 kg

*1 この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。
※なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。

*2 屈折率n=3.5のときの厚み測定範囲を表しています。(屈折率n=1のときの厚み測定範囲は35 ~ 1100umです。)
*3 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*4 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数256回に設定して測定し、屈折率n=3.5に換算した値
*5 測定対象はt=0.3のガラス厚みで、検出可能距離内にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値