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分光干渉式ウェハ厚み計
SI-F80R シリーズ
ヘッド増設ユニット SI-FA100

仕様

型式

SI-FA100*1

分離型

SI-FA100

種類

増設コントローラ*2

分光ユニット接続台数

1台

表示

最小表示単位

なし

表示範囲

表示周期

端子台

レーザリモートインターロック入力

なし*3

タイミング1入力

リセット1入力

オートゼロ1入力

レーザオフ1/2入力

アナログ電圧出力

±10V×1出力 出力インピーダンス 100Ω*3

アナログ電流出力

4 ~ 20mA×1出力 最大負荷抵抗 350Ω*3

アラーム出力

なし*3

総合判定出力

拡張コネクタ

タイミング2入力

リセット2入力

オートゼロ2入力

プログラム切換入力

アラーム出力

判定・バイナリ出力

バイナリ出力

ストローブ出力

バイナリ選択出力

バイナリ選択入力

RS-232Cインターフェース

なし

USBインターフェース

Ethernetインターフェース

主な機能

12OUT同時測定機能、演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、計測機能、
測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、データストレージ機能、
光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、干渉計モード、マスク機能、
設定支援ソフト接続機能、ほか

定格

電源電圧

メインコントローラから供給

消費電流

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +50℃*4

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55Hz 複振幅 0.5mm X、Y、Z各方向2時間

質量

約300g

*1 本商品は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当しますので、日本国外に持ち出す際には、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続をお取りください。
なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。

*2 増設コントローラは、メインコントローラに最大4台まで接続できます。
*3 ・NPNオープンコレクタ出力定格 最大50mA(40V以下)、残留電圧0.5V以下
・無電圧入力定格 ON電圧1V以下、OFF電流0.6mA以下
・本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。 配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないように
してください。
*4 増設コントローラ数が2台以上の場合、使用周囲温度は0 ~ +40℃です。

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