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分光干渉式ウェハ厚み計
SI-F80R シリーズ

システム構成

構成機器一覧

ヘッド部

マイクロヘッドタイプ
SI-F01

長距離タイプ
SI-F10

厚み測定タイプ
SI-F80

分光ユニット
SI-F01U/SI-F10U/SI-F80U

オプション品

マイクロヘッド用取付金具
OP-84480

コントローラ部

コントローラ
(表示付きタイプ)
SI-F1000V

コントローラ
(表示分離タイプ)
SI-F1000

増設コントローラ
SI-FA100

分光ユニット・
コントローラ連結治具
OP-84474

表示部

表示パネル
SI-FD500

コード部

接続コード
CB-A07/CB-A2/CB-A5/
CB-A10/CB-A20/CB-A30

延長コード
CB-A5E/CB-A10E
表示-コントローラ間コード
0.33m:OP-84427
3m:OP-51655
10m:OP-51656

ソフトウエア

専用PCソフト
“SI-Navigator”SI-H1

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通信とネットワークを解説

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