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分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ
分光ユニット SI-T80U

仕様

型式

SI-T80U*1

種類

長距離厚み測定タイプ 分光ユニット

測定範囲 (屈折率n=1)

0.01 ~ 1.0mm

基準距離

80mm*2

測定用光源

赤外SLD , 出力1mW , レーザクラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø25µm*3

直線性

±0.3µm*4

分解能

0.01µm*5

サンプリング周期

1ms

スキャン範囲

スキャン周期

LED表示

測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅

耐環境性

使用周囲照度

白熱ランプ、蛍光灯 : 10000lx以下

使用周囲温度

0 ~ +35℃

使用周囲湿度

35 ~ 80%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間

材質

ポリカーボネート

質量

約1.3kg

*1 センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。
*3 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*4 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数64回に設定して測定した場合の値
*5 測定対象はt=0.1mmのガラス厚みで測定中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値

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