【新商品情報】 位置ズレしても安定検出ができる!エリアで検出する光電センサ「AIシリーズ」詳細は こちら!

分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ
ヘッド増設ユニット SI-TA100

仕様

型式

SI-TA100

分離型

種類

増設コントローラ*1

分光ユニット接続台数

1台

表示

最小表示単位

なし

表示範囲

表示周期

端子台

レーザリモートインターロック入力

なし*2

タイミング1入力

リセット1入力

オートゼロ1入力

レーザコントロール入力

アナログ電圧出力

±10V ×1出力 , 出力インピーダンス 100Ω*2

アナログ電流出力

4 ~ 20mA ×1出力 , 最大負荷抵抗 350Ω*2

アラーム出力

なし*2

総合判定出力

拡張コネクタ

タイミング入力

リセット入力

オートゼロ入力

プログラム切換入力

アラーム出力

判定・バイナリ 出力

バイナリ出力

ストローブ出力

バイナリ選択出力

バイナリ選択入力

RS-232Cインターフェース

なし

USBインターフェース

Ethernetインターフェース

主な機能

測定面設定・測定面間演算機能、層数チェック機能、光量積算機能、 振れ自動補正機能、12OUT同時測定機能、
演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、 計測機能、測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、
データストレージ機能、光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、 マスク機能、設定支援ソフト接続機能、他

定格

電源電圧

メインコントローラから供給

消費電流

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +50℃*3

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間*4

質量

約300g

*1 増設コントローラは、メインコントローラに最大4台まで接続できます。
*2 NPNオープンコレクタ出力定格 最大50mA(40V以下)、残留電圧0.5V以下。無電圧入力定格 ON電圧 1V以下、OFF電流0.6mA以下。本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないようにしてください。
*3 増設コントローラ数が2台以上の場合、使用周囲温度は0 ~ 40℃です。
*4 増設コントローラ数が2台以上の場合、耐振動は「10 ~ 55Hz 複振幅0.3mm XYZ各方向2時間」です。

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