【新商品情報】 高精度に“瞬間3D測定”白色干渉3D変位計「WI-5000シリーズ」発売。詳細は こちら!

分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ
センサヘッド スキャン変位測定タイプ SI-TS10

仕様

型式

SI-TS10

種類

スキャン変位測定タイプ センサヘッド

分光ユニット

SI‐TS10U

測定範囲 (屈折率n=1)

0.01 ~ 1.0mm

基準距離

9.1mm*1

測定用光源

赤外SLD , 出力1mW , レーザクラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø30µm*2

直線性

±0.3µm*3

分解能

0.01µm (0.25µm)*4*5

サンプリング周期

1ms

スキャン範囲

1mm±0.1mm

スキャン周期

7.8Hz±0.1Hz

LED表示

測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅

耐環境性

保護構造

IP64

使用周囲照度

白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下

使用周囲温度

0 ~+40℃

使用周囲湿度

35~85%RH(結露なきこと)

耐振動

10~55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間

材質

アルミ

質量

約340g(コード含む)

*1 センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。
*2 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*3 測定対象はガラス表面で、平均回数64回に設定して測定した場合の値
*4 ピーク間演算を使用しない場合は0.25µmになります。
*5 測定対象はt=0.1mmのガラス厚みで測定中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値

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