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分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ

仕様

コントローラ部

型式

SI-T1000V

SI-TA100

分離型

SI-T1000/SI-TD500

種類

メインコントローラ 一体型

増設コントローラ*4

分光ユニット接続台数

2台

1台

表示

最小表示単位

0.001µm

なし

表示範囲

±999.999µm ~ ±9999.99mm (7段階選択可能)

表示周期

10回/秒

端子台

レーザリモートインターロック入力

無電圧入力*1

なし*1

タイミング1入力

無電圧入力2*1

リセット1入力

無電圧入力*1

オートゼロ1入力

レーザコントロール入力

アナログ電圧出力

±10V ×2出力 , 出力インピーダンス 100Ω*1

±10V ×1出力 , 出力インピーダンス 100Ω*1

アナログ電流出力

4 ~ 20mA ×2出力 , 最大負荷抵抗 350Ω*1

4 ~ 20mA ×1出力 , 最大負荷抵抗 350Ω*1

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)*1

なし*1

総合判定出力

NPNオープンコレクタ出力*1

拡張コネクタ

タイミング入力

無電圧入力2*1

リセット入力

無電圧入力*1

オートゼロ入力

プログラム切換入力

無電圧入力 ×3入力*1

アラーム出力

NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)*1

判定・バイナリ 出力

バイナリ出力

測定値データ出力 (21bit) , OUT選択
NPNオープンコレクタ出力*1

ストローブ出力

NPNオープンコレクタ出力*1

バイナリ選択出力

バイナリ選択入力

無電圧入力*1

RS-232Cインターフェース

測定データ出力および制御入出力
( ボーレート115200bit/sまで選択可)

なし

USBインターフェース

USB2.0 HI-SPEED対応 ( USB1.1 Full-SPEED互換)

Ethernetインターフェース

100Base‒TX/10Base‒T

主な機能

測定面設定・測定面間演算機能、層数チェック機能、光量積算機能、 振れ自動補正機能、12OUT同時測定機能、
演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、 計測機能、測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、
データストレージ機能、光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、 マスク機能、設定支援ソフト接続機能、他

定格

電源電圧

DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) 10 % 以下

メインコントローラから供給

消費電流

ヘッド 1 台接続時:0.6 A 以下、ヘッド 6 台接続時:1.5 A 以下

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +50 ℃*2

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 0.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間*3

質量

約 600 g

約 300 g

*1 NPNオープンコレクタ出力定格 最大50mA(40V以下)、残留電圧0.5V以下。無電圧入力定格 ON電圧 1V以下、OFF電流0.6mA以下。本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないようにしてください。
*2 増設コントローラ数が 2 台以上の場合、使用周囲温度は 0 ~ +40 ℃ です。
*3 増設コントローラ数が 2 台以上の場合、耐振動は 「10 ~ 55 Hz、複振幅 0.3 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間」 です。
*4 増設コントローラは、メインコントローラに最大4台まで接続できます。

ヘッド部

型式

SI-T10

SI-T80

SI-TS10

種類

多層変位測定タイプ センサヘッド

長距離厚み測定タイプ センサヘッド

スキャン変位測定タイプ センサヘッド

分光ユニット

SI-T10U

SI-T80U

SI‐TS10U

測定範囲 (屈折率n=1)

0.01 ~ 1.0mm

基準距離

9mm*1

80mm*1

9.1mm*1

測定用光源

赤外SLD , 出力1mW , レーザクラス1 (JIS C6802)

スポット径

ø30µm*2

ø25µm*2

ø30µm*2

直線性

±0.3µm*3

±0.3µm*6

±0.3µm*3

分解能

0.01µm (0.25µm)*4*5

0.01µm*5

0.01µm (0.25µm)*4*5

サンプリング周期

1ms

スキャン範囲

1mm±0.1mm

スキャン周期

7.8Hz±0.1Hz

LED表示

測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅

耐環境性

保護構造

IP64

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯:10,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ~ +40 ℃

0 ~ +50 ℃

0 ~ +40 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

10 ~ 55 Hz、複振幅 0.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

SUS304

アルミ

質量

約 70 g (コード含む)

約 340 g (コード含む)

*1 センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。
*2 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
*3 測定対象はガラス表面で、平均回数64回に設定して測定した場合の値
*4 ピーク間演算を使用しない場合は0.25µmになります。
*5 測定対象はt=0.1mmのガラス厚みで測定中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
*6 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数64回に設定して測定した場合の値

専用PCソフト

型式

SI-H1T*1

種類

SI-Tシリーズ用設定支援ソフトウェア

対応OS

Windows 10*2
Windows 7 (SP1以降) *3
Windows Vista (SP2以降) *4
Windows XP (SP3以降) *5

メモリ容量

256MB以上 (1GB以上を推奨)

CPU

Pentium III 1GHz以上 (1.7GHz以上を推奨)

ハードディスク空き容量

1GB

PCインターフェース

以下のいずれかのインターフェースを搭載していること
・USB:Revision2.0 ハイスピード (USB1.1 互換時フルスピード)*6
・LAN:100BASE-TX、10BASE-T*7
・RS-232C (シリアルポート)

ディスプレイ

1024×768ピクセル、24bit フルカラー以上

*1 お使いのOSが推奨する環境以上の環境で使用してください。 
*2 Home、Pro、Enterpriseの各Editionに対応します。
*3 Home Premium、Professional、Ultimateの各Editionに対応します。
*4 Ultimate、Business、Home Premium、Home Basicの各Editionに対応します。
*5 Professional、Home Editionに対応します。
*6 USB ハブ経由の接続には対応していません。
*7 構内LAN およびルータ経由の接続には対応していません。1対1またはローカルな接続で使用してください。

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