分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ
ヘッド部
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型式 |
SI-T10 |
SI-T80 |
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画像 |
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種類 |
多層変位測定タイプ センサヘッド |
長距離厚み測定タイプ センサヘッド |
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分光ユニット |
SI-T10U |
SI-T80U |
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測定範囲 (屈折率n=1) |
0.01 ～ 1.0mm |
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基準距離 |
9mm*1 |
80mm*1 |
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測定用光源 |
赤外SLD , 出力1mW , レーザクラス1 (JIS C6802) |
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スポット径 |
ø30µm*2 |
ø25µm*2 |
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直線性 |
±0.3µm*3 |
±0.3µm*6 |
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分解能 |
0.01µm (0.25µm)*4*5 |
0.01µm*5 |
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サンプリング周期 |
1ms |
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LED表示 |
測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅 |
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耐環境性 |
保護構造 |
IP64 |
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使用周囲照度 |
白熱ランプ/蛍光灯：10,000 lux 以下 |
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使用周囲温度 |
0 ～ +40 ℃ |
0 ～ +50 ℃ |
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使用周囲湿度 |
35 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間 |
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材質 |
SUS304 |
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質量 |
約 70 g (コード含む) |
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*1 センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。 |
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