【新商品情報】あらゆるワーク・シーンに対応可能な超ワイドレンジモデルが登場!超高精細インラインプロファイル測定器「LJ-X8000シリーズ」

白色干渉3D変位計
WI-5000 シリーズ
センサヘッド 高精細タイプ WI-001

仕様

型式

WI-001*1*2*3

基準距離

18mm

測定範囲

Z

1.4mm(標準モード)、0.7mm(高速モード)

XY

1×1mm

最小検出エリア

4×4µm

繰り返し精度(段差)

0.1µm*4

直線性(段差)

±2.8µm*5

測定用光源

種類

赤外SLD

中心波長

830nm

レーザクラス(IEC60825-1)

クラス 3R

出力

3.6mW

ガイド用光源

種類

赤色半導体レーザ

波長

660nm

レーザクラス(IEC60825-1)

クラス1

出力

0.15mW

サンプリング周期

内部トリガ

133ms(高速モード)、266ms(標準モード)

外部トリガ

最速266ms(高速モード)、最速532ms(標準モード)*6

耐環境性

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯:5,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 85 % RH (結露しないこと)

質量

約 3,000 g

*1 高さ(ヘッド基準面から測定ワークまでの距離)の分解能は1 µm(*2)です。
*2 当社標準対象物を使用し、単一の矩形領域(*3)の平均高さを30秒間測定したときの±3σ値(オートメンテナンスモードOFF時)。
*3 矩形のサイズは、WI-001:0.3×0.9mm、WI-004:1.1×3.7mm、WI-010:3×9mm。
*4 当社標準対象物を使用し、2つの矩形領域(*3)の平均段差を30秒間測定したときのσ値(オートメンテナンスモードOFF時、撮像タイミングが精度優先時)。
*5 当社標準対象物を使用し、2つの矩形領域(*3)の平均段差を測定したときの値(オートメンテナンスモードOFF時、撮像タイミングが精度優先時)。
*6 撮像時のワーク停止時間は、高速モード120ms、標準モード240msです。