専用スタンド WI-S1
※
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仕様
型式 | WI-S1 | |||
XYステージ移動量 | X軸：75mm、Y軸：50mm | |||
XYステージ傾き角度 | ±2度 | |||
Z軸ステージ移動量 | 粗動：64mm、微動：2.0mm | |||
外形寸法(可動部除く) | 幅231×高さ408×奥行き360mm | |||
質量 | 約 10 kg | |||
白色干渉3D変位計
WI-5000 シリーズ
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型式 | WI-S1 | |||
XYステージ移動量 | X軸：75mm、Y軸：50mm | |||
XYステージ傾き角度 | ±2度 | |||
Z軸ステージ移動量 | 粗動：64mm、微動：2.0mm | |||
外形寸法(可動部除く) | 幅231×高さ408×奥行き360mm | |||
質量 | 約 10 kg | |||