【新商品情報】あらゆるワーク・シーンに対応可能な超ワイドレンジモデルが登場!超高精細インラインプロファイル測定器「LJ-X8000シリーズ」

デジタルマイクロスコープ
VHX-7000 シリーズ
フリーアングル観察システム (XYZ電動ステージ) VHX-S750

仕様

型式

VHX-S750

XYθステージ

XYステージ 電動/手動

電動

XY自動ステージ モータ

2相ステッピングモータ

XY自動ステージ 分解能

1 µm (typ)

XY自動ステージ 移動速度

10 mm/sec (max)

XYステージ 移動量

±20 mm

θ回転角

±90 度

XYθステージサイズ

上面171 mm × 168 mm (中央円板 ø100)

透過照明観察対応倍率

20 倍以上

フォーカスZ軸

Zステージ 電動/手動

電動

Z自動ステージ モータ

5相ステッピングモータ

Z自動ステージ 分解能

0.1 µm (typ.)

Z自動ステージ 移動速度

17 mm/sec (max)

Zステージ 移動量

49 mm

ステージZ軸

Zステージ 電動/手動

電動

Z自動ステージ モータ

2相ステッピングモータ

Z自動ステージ 分解能

1 µm (typ)

Z自動ステージ 移動速度

10 mm/sec (max)

Zステージ 移動量

50 mm

サイドカメラ

あり・VGA

積載荷重

5 kg

定格

電源電圧

AC100 ~ 240 V ±10 % 50/60 Hz

消費電力

130 VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ~ 40 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 80 % RH (結露なきこと)

質量

23.8 kg