大型フリーアングル観察システム （XYZ電動ステージ） VHX-S660
仕様
型式 | VHX-S660 | |||
XYθステージ | XYステージ 電動/手動 | 電動 | ||
XYステージ 移動量 | ±50mm | |||
XYθステージサイズ | 上面233×185mm | |||
透過照明観察対応倍率 | 20倍以上 | |||
ステージZ軸 | Zステージ 電動/手動 | 電動 | ||
Z自動ステージ モータ | 5相ステッピングモータ | |||
Z自動ステージ 移動速度 | 17mm/sec(max) | |||
Zステージ 移動量 | 49mm | |||
積載荷重 | 5kg | |||
XYθステージ | XY自動ステージモータ | 2相ステッピングモータ | ||
XY自動ステージ分解能 | 1µm(typ.) | |||
XY自動ステージ移動速度 | 20mm/sec(max) | |||
Zステージ | Z自動ステージ分解能 | 0.1µm(typ.) | ||
電源 | 電源電圧 | AC100～240V 50/60Hz | ||
消費電力 | 60VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ +40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 約 20 kg | |||
