新シリーズカスタマイズ型
マイクロスコープ誕生
デジタルマイクロスコープ
VHX-X1シリーズ
新シリーズ“カスタマイズ型”
マイクロスコープ誕生超自分
仕様
VHX-X1シリーズ
レンズ・スタンド・計測機能など、業務に合わせて必要な機能を使い方に合わせて選べる
カスタマイズ型のマイクロスコープ
解析業務に合わせてカスタマイズ
実体顕微鏡
金属顕微鏡
元素分析/SEM観察
測 定
検 査
特殊ステージ
観察・解析を向上する4つの新機能
ディープ
コントラスト機能これが欲しかった
“くっきり感”
300 mm
大型ステージ大きな対象物が
置ける・見える
外観チェッカー目視検査を自動化
高解像度
レボルバーレンズ金属顕微鏡の
観察力
ディープコントラスト
機能
従 来
ディープコントラスト
これが欲しかった
“くっきり感”
マイクロスコープの基本『拡大観察』をさらにリアルに。より忠実に。新機能「ディープコントラスト」を搭載しました。光学式の観察では埋もれてしまうような、緻密な表面状態でも、本来ある微細な凹凸を浮かび上がらせ、観察可能にします。
外観チェッカー
OK品
NG品
目視検査を自動化
OK画像に対する差分を画像の輝度・色相から判定し、変化度合いに応じて色ごとに表示可能です。そのため目視検査や顕微鏡検査で見落としがちな細かな違いを瞬時に可視化することができます。
300mm大型ステージ
大きな対象物が
置ける・見える
300mmx300mmの稼働範囲と耐荷重30kgの大型対応ステージの登場で広い領域の観察と測定を実現しました。また、フリーアングル観察によりウェハ端面など、斜めからの観察も行えます。
さらに画像連結機能により300×300mm全域を1枚の写真に連結することも可能です。
高解像度
レボルバーレンズ
高解像度レボルバーレンズ
観察してそのまま自動解析
金属顕微鏡の観察力
金属顕微鏡のスタイルを残しながらもマイクロスコープの圧倒的な使い勝手を実現しました。従来、金属顕微鏡で難しかったピント合わせや、観察位置の調整も、電動ステージとの接続ですべて自動でおこなえます。
また、金属組織解析において、重要視される黒鉛鋳鉄・非金属介在物の解析を規格に基づいて自動で解析できるようになりました。マイクロスコープで観察してそのまま自動解析まで実行可能です。