測定部 VK-X130
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推奨代替機種
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VK-X3000
仕様
型式 | VK-X130 | |||
総合倍率 | ～ 19200倍*1 | |||
視野 (最小視野範囲) | 16 µm ～ 5,400 µm | |||
フレームレート | レーザ測定スピード | 4 ～ 120 Hz、7,900 Hz*2 | ||
測定原理 | 光学系 | ピンホール共焦点光学系 | ||
受光素子 | フォトマルチプライヤ -16bitセンシング- | |||
スキャン方式 (通常測定時及び画像連結時) | 自動上下限設定機能 高速光量最適化機能 (AAGⅡ) 反射光量不足補完機能 (ダブルスキャン) | |||
高さ測定 | 表示分解能 | 5 nm | ||
リニアスケール | ||||
ダイナミックレンジ (ワークからの受光量の適応幅) | 16 bit | |||
繰り返し精度σ | 20 nm*3 | |||
Z軸計測用メモリ | 140万ステップ | |||
正確さ | 0.2 + L/100 µm 以下 (L = 測定長 µm) | |||
Zステージ構成 | 構造 | 測定ヘッド分離構造 | ||
最大試料高さ | 28 mm、128 mm (オプション) | |||
幅測定 | 表示分解能 | 10 nm | ||
繰り返し精度3σ | 50 nm | |||
正確さ | 測定値の±2%以内 | |||
XYステージ構成 | 手動 可動範囲 | 70 mm×70 mm | ||
電動 可動範囲 | 50 mm×50 mm 100 mm×100 mm*4 | |||
観察 | 観察画像 | 超高精細カラーCCD画像 | ||
最大撮影解像度 | 3072×2304 | |||
測定用レーザ光源 | 波長 | 赤色半導体レーザ 658 nm | ||
最大出力 | 0.95 mW | |||
クラス | クラス2 (JIS C6802) | |||
質量 | 約 25 kg (分離時ヘッド単体：約 8.5 kg) | |||
*1 23型モニタ表記 | ||||