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3つの測定原理を1台に搭載

レーザ共焦点・フォーカスバリエーション・白色干渉の3つの異なるスキャン原理が1台で使用できます。
サンプルワークの素材や形状や測定範囲にあわせて最適なスキャン方式を選択することにより、高精度に測定できます。

複数箇所も複数ワークも自動測定

複雑な設定は不要で、多点測定を自動化する 「マルチポイント測定」機能を搭載。
作業時間を減らしながら、測定サンプリング点数を増やすことで、付加価値の高い業務に充てる時間を創出しつつ、客観的評価における信頼性も同時に向上させます。

12インチウエハ対応大型電動ステージ 新登場

可動ストローク300 mmの大型XY電動ステージで12インチウエハも全面カバー。

通常のステージには収まらない大きなサンプルの測定のみでなくマルチポイント測定との組み合わせで、多くのサンプルを１度に自動測定可能となります。

従来比4倍の視野白色干渉5倍レンズ

白色干渉5倍レンズが新登場。
従来比4倍の視野で広範囲測定が可能となりました。
小さな形状変化も正確に捉え、スキャンが難しい透明体や鏡面体にも対応できます。