流量・圧力デュアルセンサ
FD-EP シリーズ

センサヘッド

型式

FD-EPH4

FD-EPH5

FD-EPH6

FD-EPH7

FD-EPH8

画像

対応口径

配管外径

ø4 *1

3/16"
（約4.76 mm） *1

ø6 *1

1/4"
（約6.35 mm） *1

ø8 *1

適合外径範囲

ポリウレタン

4.0±0.1 mm

4.76±0.15 mm

6.0±0.1 mm

6.35±0.15 mm

8.0±0.1 mm

ナイロン

4.0±0.08 mm

4.76±0.1 mm

6.0±0.08 mm

6.35±0.1 mm

8.0±0.08 mm

配管材質

ワンタッチ継手に接続可能な樹脂配管

対応流体

空気、窒素、アルゴン、非腐食性ガス*2

対応流体温度

−10～+60°C

耐圧力

1 MPa

流量検出原理

超音波 伝搬時間差方式

流量仕様

定格流量

(体積流量)

25 L/min

30 L/min

60 L/min

100 L/min

(20℃、大気圧換算) ※初期表示

気体が20℃、0.0 MPaの場合

気体が20℃、0.2 MPaの場合

75 L/min

90 L/min

180 L/min

300 L/min

気体が20℃、0.4 MPaの場合

125 L/min

150 L/min

300 L/min

500 L/min

気体が20℃、0.6 MPaの場合

175 L/min

210 L/min

420 L/min

700 L/min

測定精度

±(2.0% of RD + 1.0% of F.S.) *3*4

繰り返し精度

応答時間250 ms時±2.5％ of F.S.*3*5

圧力仕様

定格圧力

−100 kPa～+0.75 MPa ※ただし、−100～−50 kPaの範囲は、流量計測できません

総合精度

±2.0% of F.S. *3

繰り返し精度

応答時間 2.5 ms：±0.4％ of F.S.

表示分解能

瞬時流量

0.01/0.1 L/min

積算流量

0.01/0.1/1/10/100 L

圧力

0.1/1 kPa

耐環境性

保護構造

IP65（IEC60529）

使用周囲温度

−10～+60°C（氷結しないこと）

使用周囲湿度

35％～85％RH（結露しないこと）

耐振動

10～500 Hz パワースペクトル密度：0.816 G2/Hz X,Y,Z方向

耐衝撃

100 m/s2 16 msパルス X,Y,Z 各方向1000回

材質

センサ本体（流体接触しない部分）

PBT／PAR／鉄／真鍮無電解ニッケルメッキ／POM／NBR／ステンレス／アルミ

PBT／PAR／鉄／真鍮無電解ニッケルメッキ／POM／NBR／ステンレス

PBT／PAR／鉄／真鍮無電解ニッケルメッキ／POM／NBR／ステンレス／アルミ

PBT／PAR／鉄／真鍮無電解ニッケルメッキ／POM／NBR／ステンレス

PBT／PAR／鉄／真鍮無電解ニッケルメッキ／POM／NBR／ステンレス／アルミ

流路（流体接触する部分）

PBT／真鍮無電解ニッケルメッキ／NBR／ナイロン

質量

約127 g

約128 g

約127 g

約129 g

約145 g

*1 配管内径については、安定検出のため、本製品の内径と同等以上の内径を推奨します。
*2 超音波が透過する気体。配管内の圧力と気体の種類によっては測定が不安定になることがあります。
*3 当社検査設備による保証値。お客様の配管の種類、状態、流体の種類、流体温度などによって誤差が発生します。
*4 十分な直管部が確保されており流速分布が安定している状態にて定義しています。設備要因での脈動、流速分布の変動は含みません。
*5 応答時間を長く設定するほど精度は向上します。目安は√（50 ms/応答時間）倍です。