真空チャンバー内での電極厚み測定（真空蒸着）

全固体電池の一種であるリチウム金属電池では、負極材を真空チャンバー内で成膜します。真空対応しているCL-S015は、チャンバー内で厚み測定を行うことができるため蒸着装置の条件出しや、歩留まり向上に役立ちます。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ