ビューポート越しの箔のばたつき測定（真空蒸着）

ビューポート越しに真空チャンバーや乾燥炉内の電極のばたつきを測定します。角度特性の良いCLシリーズであれば、電極がばたつき、検出面が傾いたとしても安定して検出ができます。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ