真空内アーム高さ位置測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
真空環境内でロボットアームの動きを測定します。CLシリーズの超高真空対応ヘッドなら、大気中では分からない装置の動きを捉えることが可能です。また、センサヘッドは超小型で、装置内の限られたスペースにも取り付けできます。
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商品カテゴリ:
真空環境内でロボットアームの動きを測定します。CLシリーズの超高真空対応ヘッドなら、大気中では分からない装置の動きを捉えることが可能です。また、センサヘッドは超小型で、装置内の限られたスペースにも取り付けできます。
