ビューポート越しのステージ高さ測定

ビューポート越しに真空環境内のステージ高さを測定します。CLシリーズは長距離測定が可能なセンサヘッドをラインナップ。新設計の光学系により、ロングレンジと高精度を両立しています。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ