ダイレクト露光時のフォーカス合わせ

露光前にウエハまでの距離を測定することで、装置のZ軸調整をおこないます。CLシリーズによる非接触測定なら、対象物へのストレスやキズの懸念がありません。また小型ヘッドのため、装置内の限られたスペースへの取り付けも可能です

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ

ダイレクト露光時の フォーカス合わせ