真空内ウエハ反り測定

CLシリーズの超高真空対応ヘッドを用いて、ウエハの反りやたわみを測定します。これまで不可能だった真空環境における装置や対象物の測定を実現します。また、超小型ヘッドとライトアングルアタッチメントを組み合わせることで、装置内の入り組んだスペースにも設置できます。