真空内でのウエハステージ位置測定

CLシリーズの超高真空対応ヘッドを用いて、真空環境内でステージ位置を測定します。4方向に対応したライトアングルアタッチメントの活用で、取り付けの自由度が高まります。また、センサケーブルは金属製チューブで保護され、装置内での引き回しも安心です。