モールドウェハの厚み測定

モールド後のウエハ厚みをインラインで測定します。挟み込み測定専用の治具を使用することで、高精度に多点での厚み測定が可能です。面内厚み分布の非接触測定を実現します。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ