FOUP ID読取
半導体製造工程において、ウェハを搬送するFOUP(Front Opening Unified Pod)の正確なID管理は、製品のトレーサビリティを確保する上で極めて重要です。しかし、ローダやアンローダで高速に搬送されるFOUPのバーコードラベルは、傷や汚れ、かすれが発生しやすく、読み取りエラーによる設備のチョコ停や生産性低下の要因となっていました。
この課題を解決するのが、キーエンスの1D/2Dコードリーダ「SR-2000シリーズ」です。SR-2000シリーズは、クラス最高峰の読み取りエンジンと高度な補正機能を搭載。バーコードラベルに傷や欠け、印字品質の低いDPM(ダイレクトパーツマーキング)であっても、瞬時に最適な画像処理を行い、極めて高い読取率で安定したID読み取りを実現します。広視野かつ長距離でのスキャンが可能なため、FOUPの搬送速度や位置のばらつきにも柔軟に対応。既存設備への後付けも容易で、設置の自由度が高い点も特長です。SR-2000シリーズの導入により、FOUP IDの読み取り工程を自動化・安定化させ、半導体工場の安定稼働と歩留まり向上に貢献します。