ビューボード越しのコード読み取り

半導体製造工程におけるウェハのトレーサビリティ管理では、真空チャンバーやロードロック室など、密閉空間内での個体識別が不可欠です。しかし、ビューボード（覗き窓）越しでのコード読み取りは、ガラスによる光の反射や減衰、リーダーと対象物との距離が原因で、安定した読み取りが困難になるという課題がありました。

キーエンスの1D/2Dコードリーダ「SR-2000シリーズ」は、このような悪条件下でも圧倒的な読み取り性能を発揮します。クラス最高レベルの超広視野と長距離読み取り性能を両立し、ビューボードを隔てた場所からでも、ウェハ上にレーザーマーカーで刻印された微細な2次元コード（DataMatrix）を瞬時に、かつ安定して読み取ることが可能です。

さらに、新開発の読み取りアルゴリズムとオートフォーカス機能が、ワークの位置ズレや刻印品質のばらつきを自動で補正。これにより、装置の設計自由度を高めつつ、正確なトレーサビリティ管理を実現し、生産ラインの自動化と品質管理レベルの向上に大きく貢献します。