ベースプレートの平坦度・高さ測定

従来は3次元測定機や接触式変位センサで測定していましたが、LJ-Vシリーズと高精度移動ステージのシステムで、非接触・高速・多点測定のニーズに対応します。

超高速インラインプロファイル測定器

LJ-V7000 シリーズ

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