Eブロック基板の平坦度測定

端面の平坦度を測定したいというニーズがあります。高精度2次元レーザ変位センサから斜めにレーザ光を当てることで、角度を算出し、平坦度を測定することが可能です。

超高速インラインプロファイル測定器

LJ-V7000 シリーズ

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