オフライン挟み込み厚み測定

対象物の上下にセンサヘッドを設置する治具と、一軸スライドステージとの組み合わせで、対象物が透明か不透明かを問わず、厚み分布が測定できます。厚みゲージによる、測定者の工数や習熟度によるバラつきなどの課題を解決します。

分光干渉変位タイプ多層膜厚測定器

SI-T シリーズ