基板の反り測定

従来、1次元レーザ変位計でスキャンして測定していました。LJ-Xシリーズはラインレーザのため、ヘッドを動かすことなくキャリアと基板の段差を測定できます。搬送を止めずに測定できるので、検査時間の短縮につながりました。

超高精細インラインプロファイル測定器

LJ-X8000 シリーズ