ワイヤーロール熱膨張測定

SI-Fシリーズは、φ2 mmの超小型センサヘッドをラインナップ。既存設備への後付けも簡単です。分解能0.001 μmの超高精度測定により、サブミクロンの変化も正確に測定することができます。

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ