研削後（ラッピング）後のウェハ厚み測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
CLシリーズは、厚み測定時専用のセンサヘッド固定治具および光軸合わせ機能を搭載し、今までにない高精度厚み測定を実現。また、研削直後の表面が粗いウェハでも、安定した測定が可能です。
業界:
商品カテゴリ:
CLシリーズは、厚み測定時専用のセンサヘッド固定治具および光軸合わせ機能を搭載し、今までにない高精度厚み測定を実現。また、研削直後の表面が粗いウェハでも、安定した測定が可能です。
