ステージ位置精度測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
ステージの停止位置精度を非接触で測定します。CLシリーズはセンサヘッドが小型で、複数台設置する場合にもスペースを取りません。また、マルチカラー共焦点方式により、広い範囲を高精度に測定可能です。
業界:
商品カテゴリ:
ステージの停止位置精度を非接触で測定します。CLシリーズはセンサヘッドが小型で、複数台設置する場合にもスペースを取りません。また、マルチカラー共焦点方式により、広い範囲を高精度に測定可能です。
