スピンコータの高さ測定

安定した塗布精度を保つため、塗布ヘッドとウェハの正確な距離調整が重要です。CLシリーズなら、小型ヘッドで装置への取り付けも容易で、シリコンウェハのような鏡面の対象物でも、正確に距離測定ができます。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ