ウェハステージの位置決め

分解能0.001 μmで超高精度に測定できます。SI-Fシリーズは、センサヘッドが発熱しないため、周囲環境へ温度の影響ゼロ、温度ドリフトによる測定誤差ゼロで測定することができます。

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ